دانلود رایگان مقاله ISI : روش های شبیه سازی رسوب نازک فیلم با استفاده از تکنیک های اسپری پیلوریز

Methods of simulating thin film deposition using spray pyrolysis techniques

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 117, 1 April 2014, Pages 57-66

Lado Filipovic, Siegfried Selberherr, Giorgio C. Mutinati, Elise Brunet, Stephan Steinhauer, Anton Köck, Jordi Teva, Jochen Kraft, Jörg Siegert, Franz Schrank,