کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943666 1450364 2014 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polymer filling behaviors with various levels of imprinting velocity in nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Polymer filling behaviors with various levels of imprinting velocity in nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 117, 1 April 2014, Pages 67-71
نویسندگان
, , , , ,