کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943737 1450369 2013 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fabrication of high-aspect-ratio pattern via high throughput roll-to-roll ultraviolet nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 273-277
نویسندگان
, , , ,