کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943772 1450369 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Dimensional characterization of biperiodic imprinted structures using optical scatterometry
ترجمه فارسی عنوان
خصوصیات ابعاد ساختارهای چاپی دوساله با استفاده از پراکندگی سنجی نوری
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
خصوصیات ابعاد ساختارهای چاپی دوساله با استفاده از پراکندگی سنجی نوری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 27-30
نویسندگان
, , , ,