دانلود رایگان مقاله ISI : خصوصیات ابعاد ساختارهای چاپی دوساله با استفاده از پراکندگی سنجی نوری

Dimensional characterization of biperiodic imprinted structures using optical scatterometry

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 27-30

Issam Gereige, David Pietroy, Jessica Eid, Cécile Gourgon,