کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6943865 1450369 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Double patterning in nanoimprint lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Double patterning in nanoimprint lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 139-142
نویسندگان
, , , , , , , ,