کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6943865 | 1450369 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Double patterning in nanoimprint lithography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Double patterning in nanoimprint lithography Double patterning in nanoimprint lithography](/preview/png/6943865.png)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 139-142
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 112, December 2013, Pages 139-142
نویسندگان
Makoto Okada, Hiroto Miyake, Shuso Iyoshi, Takao Yukawa, Tetsuya Katase, Katsuhiko Tone, Yuichi Haruyama, Shinji Matsui,