کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6944543 | 1450383 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Simple e-beam air-bridge technology for mm-wave applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Simple e-beam air-bridge technology for mm-wave applications Simple e-beam air-bridge technology for mm-wave applications](/preview/png/6944543.png)
چکیده انگلیسی
⺠A new and simple air-bridge fabrication technology. ⺠Simple resist selection gives fewer and simpler fabrication processes. ⺠No special e-beam dose or process calibration required. ⺠The process latitude of UVIII resist and polyamide is exploited. ⺠Excellent experimental demonstration for mm-wave application.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 98, October 2012, Pages 262-265
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 98, October 2012, Pages 262-265
نویسندگان
Ata Khalid, Chong Li, James Grant, Shimul Saha, Susan Ferguson, David R.S. Cumming,