کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7048581 1457130 2016 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A predictive model for wafer probe burn phenomenon
ترجمه فارسی عنوان
یک مدل پیش بینی برای پدیده سوختگی پرونده ویفر
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
تکنیک های مکانیک مکانیکی حرارتی همراه با در نظر گرفتن توزیع دما در طول یک طرح ویژه بهار و کنسول پروب برای به دست آوردن مدل پدیده سوختگی پروب برای هدایت طراحی شده است. آزمایشات حداکثر توانایی حمل بار حداکثر انجام شده و با راه حل های عددی مقایسه شده است. به طور معقول توافق خوب بین نتایج آزمایشگاهی و عددی مشاهده شد. یک مدل پیش بینی شده به عنوان یک ابزار طراحی برای ایجاد سریعتر پروب برای انواع کانتینر و عمودی، مونتاژ و چرخه تست برای یک محیط مرتب سازی ویفر ساخته شده است. علاوه بر حالت اول، انتقال گرما گذرا بین یک پروب گرم بهار و محیط نزدیک آن بررسی شده است. برای تجزیه و تحلیل جریان گرما در داخل و از پروب گرم مقاومتی به محیط آن، یک شبیه سازی حجم محدودی پیوسته استفاده می شود. نتایج تجربی برای پروب بهار با جریان هوای لامینار و بدون جریان هوا انجام می شود. نتایج عددی و تجربی مقایسه شده و شباهت بالای آنها مشاهده شده است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی جریان سیال و فرایندهای انتقال
پیش نمایش مقاله
یک مدل پیش بینی برای پدیده سوختگی پرونده ویفر
چکیده انگلیسی
Coupled thermal-electric computational mechanics techniques have been developed to understand the temperature distribution along a special design spring and cantilever probe body in order to model the probe burn phenomenon for conduction. The experimental maximum current carrying capability tests have been performed and compared with numerical solutions. Reasonably good agreement was observed between experimental and numerical results. A predictive model was developed as a design tool to enable faster probe design for cantilever or vertical types, assembly and test cycle for a wafer sort environment. In addition to the first mode, transient heat transfer between a heated spring probe and its close environment is investigated. A continuum finite volume simulation is used to analyze the heat flow within and from the resistively heated probe to its environment. Experimental results are conducted for spring probe with laminar air flow and without air flow. The numerical and experimental results are compared and high similarity is observed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Thermal Engineering - Volume 98, 5 April 2016, Pages 610-616
نویسندگان
, ,