کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7110816 | 1460745 | 2018 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In situ spectroscopic ellipsometry monitoring of diamond multilayers grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
ترجمه فارسی عنوان
نظارت بر بیلیسومتری اسپکتروسکوپی در مورد چند لایه الماس که از طریق پلاسمای مایکروویو افزایش یافته است، موجب افزایش میزان شیمیایی بخار می شود
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
الیسسومتری اسپکتروسکوپی، الماس دو طرفه بور، پلاسمای مایکروویو موجب افزایش رسوبات بخار شیمیایی می شود، طیف سنجی جرم یونی ثانویه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 86, June 2018, Pages 41-46
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 86, June 2018, Pages 41-46
نویسندگان
J. Bousquet, F. Jomard, E. Bustarret, D. Eon,