کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7110816 1460745 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
In situ spectroscopic ellipsometry monitoring of diamond multilayers grown by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
ترجمه فارسی عنوان
نظارت بر بیلیسومتری اسپکتروسکوپی در مورد چند لایه الماس که از طریق پلاسمای مایکروویو افزایش یافته است، موجب افزایش میزان شیمیایی بخار می شود
کلمات کلیدی
الیسسومتری اسپکتروسکوپی، الماس دو طرفه بور، پلاسمای مایکروویو موجب افزایش رسوبات بخار شیمیایی می شود، طیف سنجی جرم یونی ثانویه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش مقاله
نظارت بر بیلیسومتری اسپکتروسکوپی در مورد چند لایه الماس که از طریق پلاسمای مایکروویو افزایش یافته است، موجب افزایش میزان شیمیایی بخار می شود
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Diamond and Related Materials - Volume 86, June 2018, Pages 41-46
نویسندگان
, , , ,