کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7117640 1461365 2018 8 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of surface states on monolayer doping: Crystal orientations, crystallinities, and surface defects
ترجمه فارسی عنوان
اثر سطح در دوپایه ی یکپارچه: جهت گیری کریستال، بلورینگی، و نقص سطح
کلمات کلیدی
دوپینگ مونولایر، سطح سیلیکون خالص هیدروژن، واکنش هیدروسیلیلاسیون، دستگاه غیر مسطح دوپینگ ثابت
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 82, 1 August 2018, Pages 67-74
نویسندگان
, , , , ,