کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی ترجمه فارسی نسخه تمام متن
7118065 1461372 2018 6 صفحه PDF سفارش دهید دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigation of “fur-like” residues post dry etching of polyimide using aluminum hard etch mask
ترجمه فارسی عنوان
بررسی یک پوست خراطی پس مانده ها پس از خشک کردن الیاف پلی آمید با استفاده از ماسه اچ سخت آلومینیوم
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
سفارش ترجمه تخصصی
با تضمین قیمت و کیفیت
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی برق و الکترونیک
چکیده انگلیسی
The authors found that oxygen plasma etching of polyimide (PI) with aluminum (Al) as a hard-etch mask results in lightly textured arbitrary shaped “fur-like” residues. Upon investigation, the presence of Al was detected in these residues. Ruling out several causes of metal contamination that were already reported in literature, a new theory for the presence of the metal containing residues is described. Furthermore, different methods for the residue free etching of PI using an Al hard-etch by using different metal deposition and patterning methods are explored. A fur-free procedure for the etching of PI using a one step-reactive ion etch of the metal hard-etch mask is presented.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 75, 1 March 2018, Pages 130-135
نویسندگان
, , , ,
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
سفارش ترجمه تخصصی
با تضمین قیمت و کیفیت