کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
729090 | 1461439 | 2006 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Sensitivity of Makyoh topography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The sensitivity of both qualitative and quantitative (grid-projection) Makyoh topography is analysed using analytic calculations. The essential difference between the two versions is pointed out. The sensitivity is defined on the analogy of the modulation transfer function and is expressed in terms of instrumental parameters and the detection limits of the imaging sensor in an analytic form. It is shown that the qualitative version is more sensitive than the quantitative one for surface features having small spatial wavelength. The effects of small-scale surface roughness and non-ideal collimation of the illumination is considered and it is shown that these effects decrease the sensitivity.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 9, Issues 1â3, FebruaryâJune 2006, Pages 220-224
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 9, Issues 1â3, FebruaryâJune 2006, Pages 220-224
نویسندگان
Ferenc Riesz,