کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
729829 | 1461433 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Is it possible to use external stress to tune silicon surface morphology?
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Our goal was to check if an external mechanical stress can be used to control the morphology of a Si surface. We show that: (1) due to plastic relaxation, a mechanical stress does not allow destabilization of a flat silicon surface by means of the Asaro–Tiller–Grinfeld mechanism; (2) the faceting period of vicinal Si surfaces destabilized by electromigration is not influenced by mechanical stresses but becomes more defective; (3) anisotropic surface reconstructions can be modified by a mechanical stress whereas isotropic surfaces seem to be less sensitive.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 12, Issues 1–2, February–April 2009, Pages 12–15
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 12, Issues 1–2, February–April 2009, Pages 12–15
نویسندگان
D. Karashanova, J.J. Métois, F. Leroy, P. Müller,