کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
7680398 1495813 2014 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Validation of thermodesorption method for analysis of semi-volatile organic compounds adsorbed on wafer surface
ترجمه فارسی عنوان
اعتبار سنجی روش ترمودزبورگ برای تجزیه و تحلیل ترکیبات آلی نیمه فرار جذب شده بر روی سطح ویفر
کلمات کلیدی
سیستم تخلیه ویفر طیف سنجی جرم کروماتوگرافی گاز اتوماتیک ترکیبات ارگانوفسفره، استات فتالات، آلودگی ویفر،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی آنالیزی یا شیمی تجزیه
پیش نمایش مقاله
اعتبار سنجی روش ترمودزبورگ برای تجزیه و تحلیل ترکیبات آلی نیمه فرار جذب شده بر روی سطح ویفر
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Talanta - Volume 122, May 2014, Pages 63-69
نویسندگان
, , , ,