Stress evolution during growth of 1-D island arrays: Kinetics and length scaling

برای کشف مکانیزمهای کنترل استرس باقی مانده در فیلمهای نازک، تکامل استرس را در طی جابجایی نیکل بر روی صفحات الگوی لایتوگرافی با فاصله های مختلف الگو و نرخ رشد اندازه گیری کردیم. مطالعه فیلم ها با هندسه شاهد کنترل شده ما را قادر می سازد تا تنش (با استفاده از انحنای ویفر) اندازه گیری شود تا به تکامل مورفولوژی بپردازد. ما اندازه گیری ها را با یک مدل تحلیل می کنیم که بر استرس هایی که در آن جزایر مجاور با یکدیگر رشد می کنند برای تشکیل عناصر جدیدی از مرز دانه طراحی شده است.