کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7922480 | 1511760 | 2018 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Thin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Chemistry and Physics - Volume 203, 1 January 2018, Pages 310-318
Journal: Materials Chemistry and Physics - Volume 203, 1 January 2018, Pages 310-318
نویسندگان
S. Slang, P. Janicek, K. Palka, L. Loghina, M. Vlcek,