کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8148939 | 1524346 | 2018 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Reduction of threading dislocation density in SiGe epilayer on Si (0â¯0â¯1) by lateral growth liquid-phase epitaxy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Si0.973Ge0.027 epilayers were grown on a Si (0â¯0â¯1) substrate by a lateral liquid-phase epitaxy (LLPE) technique. The lateral growth mechanism favoured the glide of misfit dislocations and inhibited the nucleation of new dislocations by maintaining the thickness less than the critical thicknesses for dislocation nucleation and greater than the critical thickness for glide. This promoted the formation of an array of long misfit dislocations parallel to the [1â¯1â¯0] growth direction and reduced the threading dislocation density to 103â¯cmâ2, two orders of magnitude lower than the seed area with an isotropic misfit dislocation network.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 483, 1 February 2018, Pages 223-227
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 483, 1 February 2018, Pages 223-227
نویسندگان
Andrew J. O'Reilly, Nathaniel J. Quitoriano,