کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9670571 | 1450404 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Monolithically integrated micro flow sensor for lab-on-chip applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
A monolithically integrated micro flow sensor (MFS) for lab-on-chip application is presented. The MFS utilizes a miniaturized adaption of the anemometric principle. The combination of an established detection principle with the benefits of microtechnology results in a sensor with very high sensitivity. The temperature distribution in the microfluidic channel is simulated and compared with experimental results. The experimental investigation confirms that the micro MFS is able to detect flow rates as low as 10Â nl/min.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volumes 78â79, March 2005, Pages 164-170
Journal: Microelectronic Engineering - Volumes 78â79, March 2005, Pages 164-170
نویسندگان
L. Schöler, B. Lange, K. Seibel, H. Schäfer, M. Walder, N. Friedrich, D. Ehrhardt, F. Schönfeld, G. Zech, M. Böhm,