کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
9829611 1524495 2005 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Properties of Si-rich SiO2 films by RF magnetron sputtering
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه فیزیک و نجوم فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Properties of Si-rich SiO2 films by RF magnetron sputtering
چکیده انگلیسی
Si-rich silicon oxide (SiOx, 1
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 280, Issues 3–4, 1 July 2005, Pages 352-356
نویسندگان
, , , ,