![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
RF plasma enhanced MOCVD of yttria stabilized zirconia thin films using octanedionate precursors and their characterization
Keywords: 52.77.-j; 81.15.Gh; 68.55.âa; 52.77.âj; 79.60.âi; 52.80.Pi; 61.05.cj; YSZ; RF plasma; MOCVD; Ellipsometry; EXAFS; XANES;