![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Effect of keV ion irradiation on mechanical properties of hydrogenated amorphous silicon
Keywords: سیلیکون آمورف هیدروژنه شده; Hydrogenated amorphous silicon; Ion implantation; Elastic modulus; Hardness