![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Keywords: پلاسما از رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته است; RUL; remaining useful life; CI; confidence interval; pdf; probability density function; HI; health index; EMD; empirical mode decomposition; DWT; discrete wavelet transform; PECVD; plasma enhanced chemical vapour deposition; SACVD; sub-atmospheric chemica