![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Production of a uniform VHF H2 plasma by a narrow-gap discharge
Keywords: پتانسیل پوسته; VHF plasma; Sheath potential; Narrow-gap discharge; Microcrystalline silicon films; High pressure depletion method;