کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10139644 1645971 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Localized porous silicon structures obtained by using shadow mask-assisted patternable illumination
ترجمه فارسی عنوان
ساختار متخلخل سیلیکونی متخلخل به دست آمده با استفاده از نورپردازی قابل چاپ با استفاده از ماسک سایه
کلمات کلیدی
سیلیکون متخلخل، ساختار متخلخلی موضعی، الگوسازی، ماسک سایه نورپردازی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساختار متخلخل سیلیکونی متخلخل به دست آمده با استفاده از نورپردازی قابل چاپ با استفاده از ماسک سایه
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 200, 15 November 2018, Pages 32-38
نویسندگان
, ,