کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10668534 | 1008373 | 2011 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigations of a high volume atmospheric plasma torch at 915Â MHz
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠We developed an atmospheric microwave plasma torch assisted by FEM simulations. ⺠We determined the gas temperature of the plasma by optical emission spectroscopy. ⺠Silicon powder was reactively evaporated in an Ar/H2-Plasma. ⺠Thin silicon coatings were deposited and investigated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Supplement 2, 25 July 2011, Pages S342-S346
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Supplement 2, 25 July 2011, Pages S342-S346
نویسندگان
J. Kopecki, D. Kiesler, M. Leins, A. Schulz, M. Walker, M. Kaiser, H. Muegge, U. Stroth,