کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10707331 | 1023644 | 2011 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanism and applications of local droplet etching
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We give an overview on the fabrication and applications of deep nanoholes in semiconductor surfaces generated by self-assembled drilling with liquid metal droplets as etchant. The method is fully compatible with conventional molecular beam epitaxy equipment. We discuss the mechanism of nanohole formation and two applications: the creation of GaAs quantum rings and of GaAs quantum dots by nanohole filling.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 323, Issue 1, 15 May 2011, Pages 263-266
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 323, Issue 1, 15 May 2011, Pages 263-266
نویسندگان
Ch. Heyn, A. Stemmann, M. Klingbeil, Ch. Strelow, T. Köppen, S. Mendach, W. Hansen,