کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1789982 | 1524408 | 2015 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Spatially resolved optical control of GaN grown by selective area hydride vapor phase epitaxy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE) growth process is still efficient for the growth of high quality GaN material. In situ-characterization techniques are extremely difficult to implement inside HVPE hot wall reactors. A method based on selective area growth coupled to spatially resolved optical spectroscopies, micro-photoluminescence and micro-reflectivity is developed for a control of GaN optical quality and strain at different growth stages. As highly reproducible HVPE process is used with a two-step epitaxial lateral overgrowth procedure to produce 80 µm thick GaN layers presenting a weak residual strain with high optical quality comparable to free-standing GaN layers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 421, 1 July 2015, Pages 27-32
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 421, 1 July 2015, Pages 27-32
نویسندگان
F. Réveret, Y. André, O. Gourmala, J. Leymarie, M. Mihailovic, D. Lagarde, E. Gil, D. Castelluci, A. Trassoudaine,