کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1791784 | 1023620 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Numerical investigation of the effect of heat shield shape on the oxygen impurity distribution at the crystal-melt interface during the process of Czochralski silicon crystal growth
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Numerical investigation of the effect of heat shield shape on the oxygen impurity distribution at the crystal-melt interface during the process of Czochralski silicon crystal growth Numerical investigation of the effect of heat shield shape on the oxygen impurity distribution at the crystal-melt interface during the process of Czochralski silicon crystal growth](/preview/png/1791784.png)
چکیده انگلیسی
⺠Effect of heat shield shape on oxygen for CZ furnace is studied. ⺠Oxygen is decreased by enlarging the horizontal length of the heat shield. ⺠The oxygen and SiO transport in CZ furnace with the heat shield shape is explained.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 352, Issue 1, 1 August 2012, Pages 167-172
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 352, Issue 1, 1 August 2012, Pages 167-172
نویسندگان
Ying-Yang Teng, Jyh-Chen Chen, Cheng-Chuan Huang, Chung-Wei Lu, Wan-Ting Wun, Chi-Yung Chen,