دانلود رایگان مقاله ISI : روش رنگ آمیزی که یکنواختی ضخامت لایه سیلیکون-روی-ایزولاتور را در یک ناحیه مشخص فراهم می کند

Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 180, 5 August 2017, Pages 93-95

Yuki Miyata, Yasunori Nakamukai, Cassia Tiemi Azevedo, Miho Morita, Junichi Uchikoshi, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Mizuho Morita,