کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970861 1450303 2017 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Enhancement of effective dielectric constant using high-temperature mixed and sub-nano-laminated atomic layer deposited Y2O3/Al2O3 on GaAs(001)
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Enhancement of effective dielectric constant using high-temperature mixed and sub-nano-laminated atomic layer deposited Y2O3/Al2O3 on GaAs(001)
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 178, 25 June 2017, Pages 271-274
نویسندگان
, , , , , , , , , , ,