کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4970944 1450304 2017 13 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Hough Transform as a quality test tool for electron beam lithography
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Hough Transform as a quality test tool for electron beam lithography
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 177, 5 June 2017, Pages 6-8
نویسندگان
, ,