کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4971076 1450312 2017 13 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of self-aligned multilevel nanostructures
ترجمه فارسی عنوان
ساخت نانوساختارهای چندسطحی خود تنظیم شده
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
ساخت نانوساختارهای چندسطحی خود تنظیم شده
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 169, 5 February 2017, Pages 49-61
نویسندگان
, , , ,