کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5006124 | 1461384 | 2017 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Selective etching of GaAs grown over AlAs etch-stop layer in buffered citric acid/H2O2 solution
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی برق و الکترونیک
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Selective etching of a GaAs layer over AlAs etch-stop layer using citric acid and hydrogen peroxide unbuffered and buffered with a potassium citrate has been carefully investigated. We show that resistivity of the AlAs etch-stop layer to chemical attack strongly depends on the layer thickness making the standard description based on the selectivity unusable. By considering the influence of stirring and analysing the diffusion/reaction rate limitation of the etching processes, as well as the composition of the etch-stop layer, we propose a new description of the chemical processes taking place at the AlAs etch-stop layer/etching solution interface. We also propose the best way of the etch-stop layer design for precise fabrication of electronic and optoelectronic devices grown on GaAs substrates.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 63, 1 June 2017, Pages 52-57
Journal: Materials Science in Semiconductor Processing - Volume 63, 1 June 2017, Pages 52-57
نویسندگان
A. Kuźmicz, K. Chmielewski, O. Serebrennikova, J. Muszalski,