کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5394951 | 1505646 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A density functional theory study on the reactions of chlorine loss in ZrO2 thin films by atomic-layer deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: A density functional theory study on the reactions of chlorine loss in ZrO2 thin films by atomic-layer deposition A density functional theory study on the reactions of chlorine loss in ZrO2 thin films by atomic-layer deposition](/preview/png/5394951.png)
چکیده انگلیسی
⺠Fourteen possible pathways for the chlorine loss of ZrCl4 are proposed. ⺠The temperature effects on the second chlorine loss reaction are studied. ⺠The lack of neighboring hydroxyls may facilitate the hydrolysis of ZrClx groups. ⺠Theoretical studies indicate the elimination of chlorine contamination is needed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Computational and Theoretical Chemistry - Volume 979, 1 January 2012, Pages 38-43
Journal: Computational and Theoretical Chemistry - Volume 979, 1 January 2012, Pages 38-43
نویسندگان
Chengxing Cui, Jie Ren,