کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
539872 | 871275 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Deposition and characterization of electroless Ni–Co–P alloy for diffusion barrier applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Electroless deposited NiP and NiCoP thin films were studied for their diffusion barrier properties for copper wiring in ultra-large scale integration (ULSI) technology. The thermal stability of the Si/NiP/Cu and Si/NiCoP/Cu structures was evaluated by X-ray diffractometer (XRD), four probe method and field emission-scanning electron microscope (FE-SEM). Results indicated that both structures, i.e. Si/NiP/Cu and Si/NiCoP/Cu are thermally stable up to 500 °C. Further annealing results in formation of various silicided phases.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 3, March 2010, Pages 387–390
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 3, March 2010, Pages 387–390
نویسندگان
Anuj Kumar, Mukesh Kumar, Dinesh Kumar,