کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
540124 | 1450398 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fast electron resist contrast determination by “fitting before measurement” approach
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A new method for fast electron resist contrast definition is presented. It can be characterized as “fitting before measurement” method. Exposure and development of a specially designed test structure allows the resist contrast to be determined by using only an optical microscope. This makes the contrast definition procedure simpler and faster. Typically, the design, exposure, development and contrast selection take 30 min.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issues 5–8, May–August 2007, Pages 1080–1083
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 84, Issues 5–8, May–August 2007, Pages 1080–1083
نویسندگان
M.A. Knyazev, S.V. Dubonos, A.A. Svintsov, S.I. Zaitsev,