کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
540892 | 1450400 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Tin based laser-produced plasma source development for EUVL
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Tin based laser-produced plasma source development for EUVL Tin based laser-produced plasma source development for EUVL](/preview/png/540892.png)
چکیده انگلیسی
Results are reported for tin based laser-produced plasmas (LPPs) formed from slab targets, where resonance transitions from Sn7+ to Sn13+ ions overlap to yield an unresolved transition array (UTA) in the required emission bandwidth to match available multilayered mirror reflectance characteristics. The effect of target orientation, tin concentration, and laser pulse power density on emission brightness are studied. Comparisons are made between experiment and the results of atomic structure calculations combined with a steady state plasma theory.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 699–702
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 83, Issues 4–9, April–September 2006, Pages 699–702
نویسندگان
P. Hayden, J. White, A. Cummings, P. Dunne, M. Lysaght, N. Murphy, P. Sheridan, G. O’Sullivan,