کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5420034 | 1507390 | 2011 | 40 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications](/preview/png/5420034.png)
چکیده انگلیسی
⺠Multilayer optimization to the highest achieved reflectance: 70.3% record value. ⺠Growth control of thin layers down to 0.1 nm rms roughness. ⺠Diffusion barriers to enhance reflectance and improve thermal stability. ⺠Capping layers to protect against surface oxidation by photon exposure and cleaning. ⺠Multilayer optics for real lithographic systems: 69.6% on real optics.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Progress in Surface Science - Volume 86, Issues 11â12, December 2011, Pages 255-294
Journal: Progress in Surface Science - Volume 86, Issues 11â12, December 2011, Pages 255-294
نویسندگان
E. Louis, A.E. Yakshin, T. Tsarfati, F. Bijkerk,