کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
543092 | 871628 | 2010 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrochemical polishing of ITO films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Oxalic acid and tartaric acid were used to electrochemically treat the surface of indium tin oxide (ITO) films. To improve the surface of ITO films, the applied voltage was found via potentiodynamic technique. By controlling the concentration of oxalic acid and tartaric acid, the surface can be effectively planarized via the formation of a passive layer. The composition of this passive layer might be SnO2 according to XPS analysis and potential–pH diagrams. The best treatment with root-mean-squared roughness less than 1.0 nm can be obtained by electropolishing at 0.65 V in 3 wt% tartaric acid.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 12, December 2010, Pages 2549–2554
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 12, December 2010, Pages 2549–2554
نویسندگان
Yung-Fu Wu, Yi-Lang Ru,