کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
544809 | 871784 | 2010 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Arrays of metallic nanocones fabricated by UV-nanoimprint lithography
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We introduce a novel method for fabricating nanocones of various metals. Based on a combination of UV-nanoimprint lithography and electron beam evaporation, the method enables fast, high volume, and reproducible fabrication of conical nanostructures on flat substrates. We investigate cone formation with eight different metals and find that the shape of the cone depends on the material characteristics of the deposited metal.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 9, November 2010, Pages 1711–1715
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 87, Issue 9, November 2010, Pages 1711–1715
نویسندگان
Juha M. Kontio, Janne Simonen, Juha Tommila, Markus Pessa,