کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5489660 1524370 2017 22 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effects of growth parameters on silicon molten zone formed by infrared convergent-heating floating zone method
ترجمه فارسی عنوان
تاثیر پارامترهای رشد بر روی منطقه مذاب سیلیکونی توسط روش شناور ناحیه همگرا مادون قرمز ساخته شده است
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
اثرات سرعت چرخش، اندازه رشته، شکل آینه و قطر بلوری به شکل مناطق مذاب سیلیکونی تهیه شده با استفاده از روش شناور ناحیه مادون قرمز همگرایی گرما شناخته شد. نرخ چرخش کریستال به طور قابل توجهی بر شکل اتصالات خوراک ذوب یا کریستال مایع، فاصله بین کریستال و خوراک، طول ناحیه یا قدرت لامپ مورد نیاز برای تشکیل منطقه مذاب تاثیر نمی گذارد. گرما کارآمد تر با استفاده از لامپ های رشته های کوچک و آینه های بیضوی با بالاترین حد غیرقانونی حاصل شد. محدب گردهمایی هر دو خوراک و طرفهای کریستالی منطقه مذاب با افزایش قطر بلور کاهش می یابد. با این حال، طول لامپ مورد نیاز، فاصله و طول منطقه با افزایش قطر بلور افزایش می یابد. به نظر می رسد پایداری ناحیه مذاب با افزایش قطر بلوری کاهش می یابد. حداقل عرض ذوب تقسیم شده به قطر بلوری، یک پارامتر خوب برای توصیف ثبات منطقه مذاب است.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه فیزیک و نجوم فیزیک ماده چگال
پیش نمایش مقاله
تاثیر پارامترهای رشد بر روی منطقه مذاب سیلیکونی توسط روش شناور ناحیه همگرا مادون قرمز ساخته شده است
چکیده انگلیسی
The effects of rotation rate, filament size, mirror shape, and crystal diameter on the shape of the silicon molten zones prepared using the infrared convergent-heating floating zone method were examined. The crystal rotation rate did not significantly affect the shape of the feed-melt or crystal-melt interfaces, gap between the crystal and feed, zone length, or lamp power required to form the molten zone. More efficient heating was achieved using lamps with smaller filaments and ellipsoidal mirrors with higher eccentricity. The convexity of both the feed and the crystal sides of the molten zone decreased with increasing crystal diameter. However, the required lamp power, gap, and zone length increased with increasing crystal diameter. The stability of the molten zone seemed to reduce with increasing crystal diameter. The minimum melt width divided by the crystal diameter was found to be a good parameter to describe the stability of the molten zone.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 459, 1 February 2017, Pages 105-111
نویسندگان
, , , ,