| کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
|---|---|---|---|---|
| 6942418 | 1450289 | 2018 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
I-line photoresist composed of multifunctional acrylate, photo initiator, and photo acid generator, which can be patterned after g-line photo-crosslinking
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
PAGPPAPPGMEACrosslinkPGMEPEBGPCTHFTMAHPost-exposure bake - بعد از قرار گرفتن در معرض پختTetrahydrofuran - تتراهیدروفورانNIT - شبPhotoresist - عکسبردارTetramethylammonium hydroxide - هیدروکسید تتراماتیل آمونیومCoatings - پوشش هاPhoto acid generator - ژنراتور اسید عکسGel permeation chromatography - کروماتوگرافی ژل تراوشی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 195, 5 August 2018, Pages 86-94
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 195, 5 August 2018, Pages 86-94
نویسندگان
Hikaru Sugita, Nobuji Matsumura,