کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942521 1450292 2018 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Organic ice resists for 3D electron-beam processing: Instrumentation and operation
ترجمه فارسی عنوان
یخ آلی مقاوم به پردازش پرتو الکترونی سه بعدی است: ابزار دقیق و عملیات
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
یخ آلی مقاوم به پردازش پرتو الکترونی سه بعدی است: ابزار دقیق و عملیات
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 192, 15 May 2018, Pages 38-43
نویسندگان
, , , ,