کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
6942543 | 1450293 | 2018 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Reactive ion etching of poly (cyclohexene carbonate) in oxygen plasma
ترجمه فارسی عنوان
اکتیو یونی واکنشی از پلی کربنات سیکلوهاکسن در پلاسمای اکسیژن
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی کامپیوتر
سخت افزارها و معماری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 191, 5 May 2018, Pages 1-9
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 191, 5 May 2018, Pages 1-9
نویسندگان
Xingjun Xue, Kun Zhou, Jian Cai, Qian Wang, Zheyao Wang,