کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942543 1450293 2018 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Reactive ion etching of poly (cyclohexene carbonate) in oxygen plasma
ترجمه فارسی عنوان
اکتیو یونی واکنشی از پلی کربنات سیکلوهاکسن در پلاسمای اکسیژن
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
اکتیو یونی واکنشی از پلی کربنات سیکلوهاکسن در پلاسمای اکسیژن
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 191, 5 May 2018, Pages 1-9
نویسندگان
, , , , ,