کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942605 1450295 2018 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Co and CoTix for contact plug and barrier layer in integrated circuits
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Co and CoTix for contact plug and barrier layer in integrated circuits
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 189, 5 April 2018, Pages 78-84
نویسندگان
, , , ,