کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942694 1450298 2017 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Phase transformation in thin tungsten films during sputter deposition
ترجمه فارسی عنوان
تبدیل فاز در فیلم های تنگستن نازک در هنگام رسوب لجن
کلمات کلیدی
تنگستن، اسپرد، فیلم های نازک تبدیل فاز، ذرات انرژی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تبدیل فاز در فیلم های تنگستن نازک در هنگام رسوب لجن
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volumes 183–184, 5 November 2017, Pages 19-22
نویسندگان
,