کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942790 1450326 2016 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Estimating the optimum dose for arbitrary substrate materials based on Monte Carlo simulated point spread functions
ترجمه فارسی عنوان
برآورد دوز مطلوب برای مواد سوبسترا دلخواه بر اساس توابع توزیع نقطه شباهت مونت کارلو
کلمات کلیدی
تخمین دوز، شبیه سازی مونت کارلو، لیتوگرافی پرتو الکترونی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
برآورد دوز مطلوب برای مواد سوبسترا دلخواه بر اساس توابع توزیع نقطه شباهت مونت کارلو
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 29-32
نویسندگان
, ,