کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942793 1450326 2016 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
MEMS based electrochemical process for fabrication of laminated micro-inductors on silicon
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
MEMS based electrochemical process for fabrication of laminated micro-inductors on silicon
چکیده انگلیسی
Highlight: Activation and seedless site-selective metallization of SU-8 for top core lamination.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 33-38
نویسندگان
, , ,