دانلود رایگان مقاله ISI : عملکرد پرتو الکترون الکترونیک تقویت شده شیمیایی با مقاومت بالا در انرژی پرتوهای مختلف

Performance of a high resolution chemically amplified electron beam resist at various beam energies

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 155, 2 April 2016, Pages 97-101

D.X. Yang, A. Frommhold, A. McClelland, J. Roth, M. Rosamond, E.H. Linfield, J. Osmond, R.E. Palmer, A.P.G. Robinson,