کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942831 1450327 2016 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography
ترجمه فارسی عنوان
تداخل رزونانس تک حالت در موجبر نانوالکترونیک عمیق در معرض قرار گرفتن در معرض قرار گرفتن در معرض موج نانو مقیاس نانو
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش مقاله
تداخل رزونانس تک حالت در موجبر نانوالکترونیک عمیق در معرض قرار گرفتن در معرض قرار گرفتن در معرض موج نانو مقیاس نانو
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 154, 25 March 2016, Pages 8-11
نویسندگان
, , , , , ,