کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6942935 1450328 2016 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Top-down SiGe nanostructures on Ge membranes realized by e-beam lithography and wet etching
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Top-down SiGe nanostructures on Ge membranes realized by e-beam lithography and wet etching
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 153, 5 March 2016, Pages 88-91
نویسندگان
, , , , ,